가공기술
01
5축 ~ 7축의 초정밀 가공장비 및 전문 운영인력을 보유하여 정밀도 2 ㎛이내에 준하는 구면, 비구면 가공기술 확보
- 경량화 가공
-
Hole마다 편차량을 100 ㎛ 이내,
최대 82.5%의 경량화
- 자이로 블록 가공
-
평행도 158 nm 이하, 채널 교차점과의 편심량
: 공차 ± 0.03 mm, 직각도는 5″ 이내
- 비구면 가공
- 공차 : RMS ≤ 0.1 ㎛
02
1600 mm 급 가공 기술과 경량화, Dome 제작 기술
- 대형 비축 비구면을 개발하여 양산까지 도입한 연마 기술 보유
- 아래의 자료는 302 mm급 제품을 생산을 RMS 4.376 nm 까지 확보하였으며, 최대 1600 mm 제품을 연마할 수 있는 기술 보유
- Hyper-hemispherical Dome 제작 기술은 국내 유일하게 개발에 성공함
- 01. Primary Mirror, Zerodur
-
- Aperture Ø 1600 mm(Concave Parabolic)
- Surface Errors RMS < 7.5 nm
- Coating Protected Silver, %R > 98%
- Waveband Visible & MWIR
- 02. Concave Aspherical Mirror, Zerodur
-
- Aperture Ø 1200 mm (Convex Aspheric, Lightweight)
- Surface Errors PV < 79 nm, RMS < 12 nm
- Coating Protected Silver, %R > 98%
- Waveband Visible
- 03. Hyper-Hemispherical Dome, Sapphire
-
- Aperture Ø 117.2 (Dome)
- Surface Errors PV < 2/Lamda, Ø 50 AnyPoint
- Coating AR Coating, %T > 90%
- Waveband Visible & MWIR
연마기술
01
Lens, Mirror, Window, Prism 등 다양한 형상의 광학 제품에 대해 표면조도 0.2 nm 수준 및 RMS 10 nm 이하 초정밀 연마기술 확보
| spec | 구면 | |||
|---|---|---|---|---|
| Commercical | Precision | Highprecision | ||
| Specification | Tolerance | |||
| 외경 | ~ 1,200mm | ± 0.1 mm | ± 0.02 mm | ± 0.01 mm |
| 곡률 | R5 ~ R100 | ± 5 fringe | ± 3 fringe | ± 2 fringe |
| R100 ~ R1200 | ± 10 fringe | ± 5 fringe | ± 2 fringe | |
| 표면질 | S/D | 60/40 이하 | 40/20 이하 | 10/5 이하 |
| 불균일도 (PV) | Lambda | 1/2 λ | 1/10 λ | 1/20 λ |
| 조도(RMS) | RMS | 0.8 nm | 0.5 nm | 0.3 nm |
| 편심 (각도) | Sec | 60″ 이하 | 30″ 이하 | 10″ 이하 |
| spec | 비구면 | |||
|---|---|---|---|---|
| Commercical | Precision | Highprecision | ||
| Specification | Tolerance | |||
| 외경 | ~ 1,200 mm | ± 0.02 mm | ± 0.02 mm | ± 0.02 mm |
| 곡률 | R5 ~ R100 | ± 5 fringe | ± 3 fringe | ± 2 fringe |
| R100 ~ R1200 | ± 10 fringe | ± 5f ringe | ± 2f ringe | |
| 표면질 | S/D | 60/40 이하 | 40/20 이하 | 10/5 이하 |
| 불균일도 (PV) | Lambda | 1 λ | 1/4 λ | 1/10 λ |
| 조도(RMS) | RMS | 2 nm | 1 nm | 0.5 nm |
| 편심 (각도) | Sec | 60″ 이하 | 30″ 이하 | 10″ 이하 |
| spec | 평면 | |||
|---|---|---|---|---|
| Commercical | Precision | Highprecision | ||
| Specification | Tolerance | |||
| 외경 | ~ 1,800 mm | ± 0.05 mm | ± 0.05 mm | ± 0.05 mm |
| 곡률 | ∞ | - | - | - |
| ∞ | - | - | - | |
| 표면질 | S/D | 60/40 이하 | 40/20 이하 | 10/5 이하 |
| 불균일도 (PV) | Lambda | 1/4 λ | 1/10 λ | 1/20 λ |
| 조도(RMS) | RMS | 0.5 nm | 0.3 nm | 0.2 nm |
| 편심 (각도) | Sec | 30″ 이하 | 10″ 이하 | 1″ 이하 |
| spec | 프리즘 | |||
|---|---|---|---|---|
| Commercical | Precision | Highprecision | ||
| Specification | Tolerance | |||
| 외경 | ~ 100 mm | ± 0.03 mm | ± 0.03 mm | ± 0.03 mm |
| 곡률 | ∞ | - | - | - |
| ∞ | - | - | - | |
| 표면질 | S/D | 60/40 이하 | 40/20 이하 | 10/5 이하 |
| 불균일도 (PV) | Lambda | 1/4 λ | 1/10 λ | 1/20 λ |
| 조도(RMS) | RMS | 0.5 nm | 0.3 nm | 0.2 nm |
| 편심 (각도) | Sec | 30″ 이하 | 10″ 이하 | 5″ 이하 |
02
CNC 기반의 연마 및 측정, 평가를 통해 초정밀 광부품을 생산 할 수 있는 가공기술 보유
- Material Ge/ZnSe/ZnS/SiC/Si/CaF₂/BaF₂/Al/Cu/Ti
- Shape Spheres/ Aspheric/ Cylinder / Dome / Plate
- Quality up to PV λ/20, Ra < 0.3 nm
- Size Ø 1.2 m
- On-Machine Measurement with CGH Interferometer
~ 7 minutes polishing time
